چین در تولید تراشه به خودکفایی نزدیک شده است

به گزارش ایسنا، محققان چینی ادعا می کنند که یک منبع نور ماوراء بنفش شدید (EUV) درجه دسکتاپ جدید برای تولید ریزتراشه های 14 نانومتری توسعه داده اند. اگرچه این فناوری جدید نمی تواند جایگزین دستگاه های لیتوگرافی مواد نیمه هادی سنتی (ASML) شود، اما جایگزین جالبی برای تولید تراشه های کوچک در صورت نیاز است.

به گفته هوش مصنوعی، این فناوری جدید می تواند عملکردهای مهم دیگری مانند بازرسی تراشه، نمونه سازی تراشه کوانتومی و تشخیص نقص ماسک نوری را نیز به همراه داشته باشد.

به عبارت دیگر، این فناوری جدید یک دستگاه پیشرفته برای لیتوگرافی مواد نیمه هادی – لیتوگرافی شدید UV کوچک نیست، اما می تواند برای تحقیق و توسعه و ساخت تراشه های کوچک بسیار مفید باشد. همچنین گامی مهم به سوی استقلال در ابزارهای پیشرفته تولید تراشه است.

این دستگاه ها معمولاً از چیزی به نام پلاسمای تولید شده با لیزر (LPP) برای انفجار قطرات قلع در شرایط کنترل شده استفاده می کنند. چنین دستگاه های لیتوگرافی نیمه هادی پیشرفته به آینه های جمع آوری عظیمی نیاز دارند که چین هنوز نمی تواند آنها را در داخل تولید کند.

با این حال، گزارش شده است که این دستگاه جدید از یک لیزر فمتوثانیه برای شلیک گاز آرگون استفاده می کند. این دستگاه لیتوگرافی UV شدید را از طریق چیزی به نام تولید هارمونیک بالا تولید می کند.

این به این معنی است که این دستگاه به آینه های غول پیکر نیاز ندارد و به قطرات قلع متکی نیست. بنابراین این سیستم بسیار ساده تر است و می تواند طول موج های قابل تنظیم از یک نانومتر تا 200 نانومتر را تولید کند.

دستگاه های سنتی نیز پرمصرف هستند و معمولاً به حدود 200 وات توان نیاز دارند تا ویفرها را به سرعت تولید برساند. از سوی دیگر، دستگاه جدید چینی تنها از یک میکرووات در هر پالس استفاده می کند.

این 200 میلیون برابر کمتر از سطح تولید دستگاه های سنتی است. این همچنین به این معنی است که نمی توان از آن برای تولید انبوه تراشه های سطح بالا استفاده کرد. به همین دلیل است که تولید 14 نانومتر در دسته‌های کوچک امکان‌پذیر است، اما نه در مقیاس تجاری.

در حال حاضر، دستگاه های سنتی دستگاه های عظیمی هستند که معمولاً ده ها متر اندازه دارند. این دستگاه ها قادر به تولید ریزتراشه های بین سه تا هفت نانومتر در مقادیر زیاد هستند.

از سوی دیگر، اگر ادعاها صحت داشته باشد، این دستگاه جدید بسیار کوچکتر است و می تواند تراشه هایی با اندازه و کیفیت مشابه تولید کند. این دستگاه با استفاده از تولید هارمونیک بالا (HHG) به این مهم دست می یابد و به اندازه کافی کوچک است که بر روی میز اداری قرار می گیرد.

این فناوری جدید به دلیل طراحی و اندازه آن ارزان است و هزینه های عملیاتی نسبتا کمی دارد. اگرچه فقط می تواند تولید دسته ای کوچک یا آزمایش هایی را انجام دهد که به عنوان بازرسی در نظر گرفته می شوند و نه کارخانه.

با این حال، چین به شدت به ماشین‌هایی مانند این نیاز دارد، زیرا توانایی خرید ماشین‌های مدرن را ندارد. همچنین فاقد آینه‌های مورد نیاز دستگاه‌های سنتی است و برنامه‌های آن به‌طور کلی دارای تأخیر هستند.

انتهای پیام